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gaas快速退火爐₪✘·◕、GaAs快速退火爐使用注意細節

作者◕·:admin 瀏覽量◕·:14 來源◕·:本站 時間◕·:2022-09-17 13:36:20

資訊摘要◕·:

gaas快速退火爐₪✘·◕、GaAs快速退火爐使用注意細節☁↟₪。今天瑞樂半導體科技有限公司小編為你整理分享gaas快速退火爐₪✘·◕、GaAs快速退火爐使用注意細節₪✘,希望對你有所幫助•₪!

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GaAs快速退火爐的產品特點◕·:

  1₪✘·◕、控制電路採用模糊PID程式控制技術₪✘,控溫精度高₪✘,熱慣性小₪✘,無溫度衝擊₪✘,效能可靠₪✘,操作簡單☁↟₪。
  2₪✘·◕、中真空系統具有真空度上下限自動控制功能☁↟₪。高真空系統採用高壓耐衝擊分子泵₪✘,防止意外漏氣損壞分子泵₪✘,延長系統使用壽命☁↟₪。
 

GaAs/GaN用快速退火爐

 

  GaAs快速退火爐使用細節◕·:
  1₪✘·◕、爐子使用或長期不用後₪✘,應120℃烘烤1小時₪✘,300℃烘烤2小時₪✘,以免爐裂☁↟₪。
  2₪✘·◕、爐溫儘量不要超過額定溫度₪✘,以免損壞加熱元件和爐襯☁↟₪。
  3₪✘·◕、嚴禁將各種液體和溶解金屬直接倒入爐內₪✘,保持爐內清潔☁↟₪。
  4₪✘·◕、如果在爐內使用石英管₪✘,當溫度高於1000℃時₪✘,石英管的高溫部分會出現不透明現象₪✘,稱為失透(也稱結晶)₪✘,是連續熔化石英管的固有缺陷₪✘,屬正常現象☁↟₪。
  5₪✘·◕、冷爐在使用時₪✘,由於爐子是冷的₪✘,需要吸收大量的熱量₪✘,所以低溫段的升溫速度不易太快₪✘,各溫度段升溫速度的差異不容易太大☁↟₪。設定升溫速度時₪✘,應充分考慮燒結材料的物理化學性質₪✘,以免出現噴濺汙染爐管的現象☁↟₪。
  6₪✘·◕、定期檢查溫控系統電氣連線部分是否接觸良好₪✘,特別注意加熱元件的連線點是否緊固☁↟₪。
  7₪✘·◕、GaAs/GaN用快速退火爐使用一段時間後₪✘,如果真空度下降₪✘,可以更換不鏽鋼法蘭盤之間的耐溫矽橡膠圈₪✘,或者重新安裝不鏽鋼法蘭盤₪✘,或者抽真空系統可以更換和維修₪✘,以提高系統的整體真空度☁↟₪。


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