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gan快速退火爐✘•·,GaN快速退火爐使用注意細節

作者╃↟:admin 瀏覽量╃↟:22 來源╃↟:本站 時間╃↟:2022-09-17 13:29:13

資訊摘要╃↟:

gan快速退火爐✘•·,GaN快速退火爐使用注意細節·│₪☁•。今天瑞樂半導體科技有限公司小編為你整理分享gan快速退火爐✘•·,GaN快速退火爐使用注意細節✘•·,希望能對你有所幫助

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GaAs/GaN用快速退火爐的產品特點╃↟:

  1·✘▩、控制電路採用模糊PID程式控制技術✘•·,控溫精度高✘•·,熱慣性小✘•·,無溫度衝擊✘•·,效能可靠✘•·,操作簡單·│₪☁•。
  2·✘▩、中真空系統具有真空度上下限自動控制功能·│₪☁•。高真空系統採用高壓耐衝擊分子泵✘•·,防止意外漏氣損壞分子泵✘•·,延長系統使用壽命·│₪☁•。
 

GaAs/GaN用快速退火爐

 

  GaAs/GaN用快速退火爐使用細節╃↟:
  1·✘▩、爐子使用或長期不用後✘•·,應120℃烘烤1小時✘•·,300℃烘烤2小時✘•·,以免爐裂·│₪☁•。
  2·✘▩、爐溫儘量不要超過額定溫度✘•·,以免損壞加熱元件和爐襯·│₪☁•。
  3·✘▩、嚴禁將各種液體和溶解金屬直接倒入爐內✘•·,保持爐內清潔·│₪☁•。
  4·✘▩、如果在爐內使用石英管✘•·,當溫度高於1000℃時✘•·,石英管的高溫部分會出現不透明現象✘•·,稱為失透(也稱結晶)✘•·,是連續熔化石英管的固有缺陷✘•·,屬正常現象·│₪☁•。
  5·✘▩、冷爐在使用時✘•·,由於爐子是冷的✘•·,需要吸收大量的熱量✘•·,所以低溫段的升溫速度不易太快✘•·,各溫度段升溫速度的差異不容易太大·│₪☁•。設定升溫速度時✘•·,應充分考慮燒結材料的物理化學性質✘•·,以免出現噴濺汙染爐管的現象·│₪☁•。
  6·✘▩、定期檢查溫控系統電氣連線部分是否接觸良好✘•·,特別注意加熱元件的連線點是否緊固·│₪☁•。
  7·✘▩、GaAs/GaN用快速退火爐使用一段時間後✘•·,如果真空度下降✘•·,可以更換不鏽鋼法蘭盤之間的耐溫矽橡膠圈✘•·,或者重新安裝不鏽鋼法蘭盤✘•·,或者抽真空系統可以更換和維修✘•·,以提高系統的整體真空度·│₪☁•。


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