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碳化矽快速退火爐✘☁│·•,一種新型碳化矽快速退火爐高溫腔體的製作方法

作者│╃:admin 瀏覽量│╃:16 來源│╃:本站 時間│╃:2022-09-17 12:32:01

資訊摘要│╃:

碳化矽快速退火爐✘☁│·•,一種新型碳化矽快速退火爐高溫腔體的製作方法▩·☁╃!碳化矽快速退火爐技術文章分享✘☁│·•,碳化矽快速退火爐✘☁│·•,一種新型碳化矽快速退火爐高溫腔體的製作方法▩·☁╃!

碳化矽快速退火爐✘☁│·•,一種新型碳化矽快速退火爐高溫腔體的製作方法▩·☁╃!


一種新型碳化矽退火爐高溫腔體的製作方法


1.本實用新型屬於半導體制造相關用具技術領域✘☁│·•,特別是涉及一種新型碳化矽快速退火爐高溫腔體✘↟。


背景技術│╃:

2.退火爐高溫腔體是在半導體器件製造中使用的一種工藝✘☁│·•,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電效能✘☁│·•,熱處理是針對不同的效果而設計的✘☁│·•,但它在實際使用中仍存在以下弊端│╃:
3.1╃↟◕╃、現有的退火爐高溫腔體無法在其上部快速安裝它自身燃燒所需的燃料的裝載體✘☁│·•,從而導致只能將其燃料裝載體放置在退火爐高溫腔體外部✘☁│·•,十分佔用空間;
4.2╃↟◕╃、現有的退火爐高溫腔體與鼓風機通常為一體化設計✘☁│·•,無法快速的對鼓風機進行結構上的拆裝✘☁│·•,不利於後期鼓風機損壞進行更換維修✘↟。
5.因此✘☁│·•,現有的一種新型碳化矽退火爐高溫腔體✘☁│·•,無法滿足實際使用中的需求✘☁│·•,所以市面上迫切需要能改進的技術✘☁│·•,以解決上述問題✘↟。


技術實現要素│╃:

6.本實用新型的目的在於提供一種新型碳化矽退火爐高溫腔體✘☁│·•,透過設定安裝機構和連線機構✘☁│·•,解決了現有的退火爐高溫腔體無法在其上部快速安裝它自身燃燒所需的燃料的裝載體✘☁│·•,從而導致只能將其燃料裝載體放置在退火爐高溫腔體外部✘☁│·•,十分佔用空間;現有的退火爐高溫腔體與鼓風機通常為一體化設計✘☁│·•,無法快速的對鼓風機進行結構上的拆裝✘☁│·•,不利於後期鼓風機損壞進行更換維修的問題✘↟。
7.為解決上述技術問題✘☁│·•,本實用新型是透過以下技術方案實現的│╃:
8.本實用新型為一種新型碳化矽退火爐高溫腔體✘☁│·•,包括腔體本體╃↟◕╃、安裝機構和連線機構✘☁│·•,所述腔體本體商標賣女中部固定連線有安裝機構✘☁│·•,且安裝機構包括安裝塊和連線鋼槽✘☁│·•,所述安裝塊之間的兩側上部固定連線有連線鋼槽;
9.所述腔體本體一端上中部緊固連線有連線機構✘☁│·•,且連線機構包括連線筒和法蘭盤✘☁│·•,所述法蘭盤固定連線在連線筒的內端✘↟。
10.進一步地✘☁│·•,所述腔體本體底面外部設定有底座✘☁│·•,且底座前端上部固定連線有弧形梯✘☁│·•,所述弧形梯另一端固定連線在連線鋼槽前端表面中部✘☁│·•,由設定的底座✘☁│·•,用於連線弧形梯和對腔體本體進行支撐✘☁│·•,由設定的連線鋼槽✘☁│·•,便於對燃料裝載體進行固定✘↟。
11.進一步地✘☁│·•,所述腔體本體底面兩端中部固定連線有支座✘☁│·•,且腔體本體一端表面固定連線有固定圈✘☁│·•,所述固定圈表面固定連線有軸套✘☁│·•,由設定的支座✘☁│·•,用於對腔體本體進行支撐✘☁│·•,由設定的固定圈✘☁│·•,用於固定軸套✘☁│·•,並由設定的軸套✘☁│·•,用於使轉軸進行轉動✘↟。
12.進一步地✘☁│·•,所述軸套內轉動連線有轉軸✘☁│·•,且轉軸外端固定連線有第一圓門✘☁│·•,所述第一圓門外表面一側中部固定連線有第一把手✘☁│·•,由設定的轉軸✘☁│·•,用於使第一圓門可進行轉動✘☁│·•,由設定的第一把手✘☁│·•,便於對第一圓門施加力的作用✘☁│·•,從而使其進行轉動✘↟。
13.進一步地✘☁│·•,所述連線筒外端表面中部固定連線有鼓風機✘☁│·•,且鼓風機的輸入端固定連線有吸風口✘☁│·•,由設定的鼓風機✘☁│·•,用於對腔體本體中引入空氣✘☁│·•,從而使腔體本體內的燃燒更加的充分✘☁│·•,由吸風口的設定✘☁│·•,用於將空氣吸入到鼓風機中鼓出✘↟。
14.進一步地✘☁│·•,所述腔體本體另一端下中部轉動連線有弧門✘☁│·•,且弧門外表面內端中部固定連線有第二把手✘☁│·•,所述腔體本體底面一側轉動連線有第二圓門✘☁│·•,且第二圓門底面一側中部固定連線有第三把手✘☁│·•,由設定的弧門✘☁│·•,便於在需要的時候對腔體本體內進行觀察✘☁│·•,由設定的第二把手✘☁│·•,便於將弧門開啟和關閉✘☁│·•,由設定的第三把手✘☁│·•,便於將第二圓門開啟和關閉✘↟。
15.本實用新型具有以下有益效果│╃:
16.1╃↟◕╃、本實用新型透過設定安裝機構✘☁│·•,具有節約工作場地空間的優點✘☁│·•,解決了現有的退火爐高溫腔體無法在其上部快速安裝它自身燃燒所需的燃料的裝載體✘☁│·•,從而導致只能將其燃料裝載體放置在退火爐高溫腔體外部✘☁│·•,十分佔用空間的問題✘☁│·•,當在對退火爐高溫腔體的燃料載體進行安裝時✘☁│·•,將裝載體放置在安裝機構上✘☁│·•,透過其箱配套的緊韌體✘☁│·•,將其緊固連線在安裝機構上的安裝塊和連線鋼槽上即可✘☁│·•,使用相反的方式✘☁│·•,即可將其從安裝機構上拆卸下來✘↟。
17.2╃↟◕╃、本實用新型透過設定連線機構✘☁│·•,具有對鼓風機進行維修更換優點✘☁│·•,解決了現有的退火爐高溫腔體與鼓風機通常為一體化設計✘☁│·•,無法快速的對鼓風機進行結構上的拆裝✘☁│·•,不利於後期鼓風機損壞進行更換維修的問題✘☁│·•,將鼓風機的輸出端與連線機構上的連線筒的一端固定連線✘☁│·•,然後再將連線筒另一端透過法蘭盤緊固連線在腔體本體的一端部✘☁│·•,即可使鼓風機與腔體本體之間便於拆裝✘☁│·•,當需要拆卸時✘☁│·•,逆時針擰動法蘭盤上的螺栓即可✘☁│·•,反之則進行安裝✘↟。
18.當然✘☁│·•,實施本實用新型的任一產品並不一定需要同時達到以上所述的所有優點✘↟。
附圖說明
19.為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術方案✘☁│·•,下面將對實施例描述所需要使用的附圖作簡單地介紹✘☁│·•,顯而易見地✘☁│·•,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例✘☁│·•,對於本領域普通技術人員來講✘☁│·•,在不付出創造性勞動的前提下✘☁│·•,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖✘↟。
20.圖1為本實用新型正面斜視結構示意圖;
21.圖2為本實用新型背面斜視結構示意圖;
22.圖3為本實用新型底面斜視結構示意圖✘↟。
23.附圖中✘☁│·•,各標號所代表的部件列表如下│╃:
24.1╃↟◕╃、腔體本體;2╃↟◕╃、弧形梯;3╃↟◕╃、底座;4╃↟◕╃、轉軸;5╃↟◕╃、支座;6╃↟◕╃、安裝機構;61╃↟◕╃、安裝塊;62╃↟◕╃、連線鋼槽;7╃↟◕╃、軸套;8╃↟◕╃、第一把手;9╃↟◕╃、第一圓門;10╃↟◕╃、固定圈;11╃↟◕╃、吸風口;12╃↟◕╃、鼓風機;13╃↟◕╃、連線機構;131╃↟◕╃、連線筒;132╃↟◕╃、法蘭盤;14╃↟◕╃、弧門;15╃↟◕╃、第二把手;16╃↟◕╃、第三把手;17╃↟◕╃、第二圓門✘↟。
具體實施方式
25.下面將結合本實用新型實施例中的附圖✘☁│·•,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚╃↟◕╃、完整地描述✘↟。
26.請參閱圖1

3所示✘☁│·•,本實用新型為一種新型碳化矽退火爐高溫腔體✘☁│·•,包括腔體本體
1╃↟◕╃、安裝機構6和連線機構13✘☁│·•,腔體本體1商標賣女中部固定連線有安裝機構6✘☁│·•,且安裝機構6包括安裝塊61和連線鋼槽62✘☁│·•,安裝塊61之間的兩側上部固定連線有連線鋼槽62;
27.腔體本體1一端上中部緊固連線有連線機構13✘☁│·•,且連線機構13包括連線筒131和法蘭盤132✘☁│·•,法蘭盤132固定連線在連線筒131的內端✘☁│·•,當在對退火爐高溫腔體的燃料載體進行安裝時✘☁│·•,將裝載體放置在安裝機構6上✘☁│·•,透過其箱配套的緊韌體✘☁│·•,將其緊固連線在安裝機構6上的安裝塊61和連線鋼槽62上即可✘☁│·•,使用相反的方式✘☁│·•,即可將其從安裝機構6上拆卸下來;
28.將鼓風機12的輸出端與連線機構13上的連線筒131的一端固定連線✘☁│·•,然後再將連線筒131另一端透過法蘭盤132緊固連線在腔體本體1的一端部✘☁│·•,即可使鼓風機12與腔體本體1之間便於拆裝✘☁│·•,當需要拆卸時✘☁│·•,逆時針擰動法蘭盤132上的螺栓即可✘☁│·•,反之則進行安裝✘↟。
29.其中如圖1

3所示✘☁│·•,腔體本體1底面外部設定有底座3✘☁│·•,且底座3前端上部固定連線有弧形梯2✘☁│·•,弧形梯2另一端固定連線在連線鋼槽62前端表面中部✘☁│·•,透過設定的底座3✘☁│·•,連線弧形梯2和對腔體本體1進行支撐✘☁│·•,透過設定的連線鋼槽62✘☁│·•,對燃料裝載體進行固定✘☁│·•,使其拆裝起來更加的便捷✘☁│·•,節約了空間;
30.腔體本體1底面兩端中部固定連線有支座5✘☁│·•,且腔體本體1一端表面固定連線有固定圈10✘☁│·•,固定圈10表面固定連線有軸套7✘☁│·•,透過設定的支座5✘☁│·•,對腔體本體1進行支撐✘☁│·•,透過設定的固定圈10✘☁│·•,從而將軸套7固定✘☁│·•,並透過設定的軸套7✘☁│·•,使轉軸4進行轉動;
31.軸套7內轉動連線有轉軸4✘☁│·•,且轉軸4外端固定連線有第一圓門9✘☁│·•,第一圓門9外表面一側中部固定連線有第一把手8✘☁│·•,透過設定的轉軸4✘☁│·•,使第一圓門9可進行轉動✘☁│·•,透過設定的第一把手8✘☁│·•,方便對第一圓門9施加力的作用✘☁│·•,從而使其進行轉動;
32.腔體本體1另一端下中部轉動連線有弧門14✘☁│·•,且弧門14外表面內端中部固定連線有第二把手15✘☁│·•,腔體本體1底面一側轉動連線有第二圓門17✘☁│·•,且第二圓門17底面一側中部固定連線有第三把手16✘☁│·•,透過設定的弧門14✘☁│·•,方便在需要的時候對腔體本體1內進行觀察透過設定的第二把手15✘☁│·•,便於將弧門14開啟和關閉✘☁│·•,透過設定的第三把手16✘☁│·•,便於將第二圓門17開啟和關閉✘☁│·•,對第二把手15和第三把手16施加力的作用✘☁│·•,即可將二者開啟✘↟。
33.其中如圖2所示✘☁│·•,連線筒131外端表面中部固定連線有鼓風機12✘☁│·•,且鼓風機12的輸入端固定連線有吸風口11✘☁│·•,透過設定的鼓風機12✘☁│·•,從而將空氣引入到腔體本體1中✘☁│·•,進一步使腔體本體1內的燃燒更加的充分✘☁│·•,透過吸風口11的設定✘☁│·•,將空氣吸入到鼓風機12中鼓出✘↟。
34.以上僅為本實用新型的優選實施例✘☁│·•,並不限制本實用新型✘☁│·•,任何對前述各實施例所記載的技術方案進行修改✘☁│·•,對其中部分技術特徵進行等同替換✘☁│·•,所作的任何修改╃↟◕╃、等同替換╃↟◕╃、改進✘☁│·•,均屬於在本實用新型的保護範圍✘↟。


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