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碳化矽快速退火爐◕✘,瑞樂碳化矽載盤簡介

作者▩☁:admin 瀏覽量▩☁:19 來源▩☁:本站 時間▩☁:2022-09-19 15:22:48

資訊摘要▩☁:

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瑞樂碳化矽載盤簡介

圖片1.png 

 

晶圓載盤在半導體的CVD▩│◕╃、真空濺射等方面具有廣泛應用↟₪◕◕。

碳化矽載盤用於刻蝕▩│◕╃、蒸鍍▩│◕╃、氣體沉澱等方面◕✘,例如◕✘,在對半導體襯底進行刻蝕時◕✘,需透過碳化矽載盤承載半導體襯底↟₪◕◕。

 

半導體蝕刻盤,晶片承載盤◕✘,碳化矽載盤◕✘,SIC載盤◕✘,碳化矽拖盤▩│◕╃、ICP刻蝕盤◕✘,刻蝕托盤◕✘,碳化矽純度>99.9%◕✘,SIC托盤使用壽命是石墨基CVD載盤四倍◕✘,長期使用不變形◕✘,耐FH酸▩│◕╃、濃H2SO4腐蝕◕✘,大幅節省碳化矽基CVD載盤使用成本50%



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